酸性硅溶胶沉淀法制备超微细活性白炭黑

对酸性硅溶胶沉淀法生产超微细活性白炭黑的工艺进行了研究；探讨了生产过程中硅溶胶的ｐＨ值，反应终点ｐＨ值，反应温度以及分散剂等条件；制备了较高品质的产品，其性能接近或超过国外同类产品．     

超微粒MnO_2的合成

以MnCl_2和NaOH为原料,采用胶溶法,制备了超微粒MnO_2制得的MnO_2超微粒为非晶态,直径6.0～10.0 nm,呈球状,在有机溶剂中具有良好的分散性和透明性,考察了影响氧化锰溶胶调制的因素,获得了最佳制胶条件,研究了表面活性剂用量与Mn迁移率的关系;通过X-光粉末衍射、红外光谱、热重及差热分析,研究了产品的结构性能。     

高精度步进压印机热误差的建模分析

为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差，以提高压印机的套刻对准精度，运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量，将压印机上布置的温度传感器从15个减少到6个，并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z方向热误差关系的数学模型．实验结果与模型计算结果的对比分析表明，模型的热误差预测精度在x方向可以达到899／6，而在z方向可以达到939／6．应用表明，该方法是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法，可避免热误差建模过程中的变量耦合问题，从而提高了模型的精确性．     

压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究

针对分步压印光刻工艺中多层套刻的高精度对准问题,提出一种应用斜纹结构光栅副实现x、y、θ三自由度自动对准的方法.光栅副分为4个区域,应用光电转换器阵列检测光栅副相对移动所引起的莫尔信号变化,通过电路系统处理可同时得到在平面x、y、θ三自由度的对准信号.驱动环节采用直线电机和压电驱动器作为宏微两级驱动,其分辨率分别为0.2μm和0.1nm,在激光干涉仪全程监测下,与控制系统一起构成闭环系统实现自动对准定位.实验结果表明,在多层压印光刻工艺中,实现了压印工作台步进精度小于10nm的高精度定位要求,使整个对准系统的套刻精度小于30nm.因此,应用这种莫尔对准方法可以获得较高的对准精度,同时能够满足压印100nm特征尺寸套刻精度的要求.     

基于微压印成形的三维微电子机械系统制造新工艺

针对目前微电子机械系统(MEMS)制造中存在的三维加工能力不足的问题,将压印光刻技术和分层制造原理相结合,研究了三维MEMS制造的新工艺.采用视频图像原理构建了多层压印的对正系统,对正精度达到2μm.通过降低黏度和固化收缩率,兼顾弹性和固化速度,开发了适用于微压印工艺的高分辨率抗蚀剂材料,并进行了匀胶、压印和脱模工艺的优化实验.通过原子力显微镜对压印结果进行了分析,分析结果表明,图形从模具到抗蚀剂的转移误差小于8%,具有制作复杂微结构的能力,同时也为MEMS的制作提供了一种高效低成本的新方法.     

胶体晶体及三维有序多孔材料的制备

以粒径为80～320nm的单分散苯乙烯／苯乙烯磺酸钠共聚微球为原料，采用一种全新而简单的制备高度有序胶体晶体模板的方法，利用静电相互作用、表面张力以及蒸发过程中的离子扩散等作用在液面形成了不合溶剂的高度有序的胶体晶体．将溶胶-凝胶前驱液在毛细效应作用下渗入胶体晶体间隙，待前驱液固化后，经煅烧去除苯乙烯微球，制备出了具有三维有序结构的多孔材料——倒置蛋白石．     

STL模型布尔运算的实现

首先建立STL模型的拓扑结构从而获得三角面片间的相邻关系．通过两个实体间的棱面相交性测试获得交点和交线，进而提取交线环．利用约束Delaunay方法对相交的三角形进行二次三角形划分，将相交表面沿交线环剖分为多个面域，利用射线法判断各个面域相对于另一实体的位置关系．通过提取相交环来决定有效的相交线降低了位置关系判断的复杂性，提高了布尔运算的稳定性．     

光盘表面结构的软模板复制及图案化氧化锌薄膜的纳米压印制备

模板的制备和选择在纳米压印技术中非常重要. 采用廉价的光盘为模板, 利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)浇铸到光盘表面, 分离后复制得到光盘的负形结构. 采用纳米压印技术, 以PDMS 软模板作为印章对氧化锌纳米溶胶进行直接压印, 实现了氧化锌薄膜的表面图案化, 经煅烧后得到晶态氧化锌薄膜.     

Preparation of three-dimensionally ordered macroporous perovskite materials

In this paper,we use La0.8Sr0.2MnO3 and La0.7Ca0.2Sr0.1MnO3 as examples to demonstrate a preparation method for threedimensionally ordered macroporous(3DOM) perovskite thermochromic materials.Polystyrene spheres with an average diameter of 220 nm were self-assembled into a three-dimensionally ordered colloidal crystal template.A mixed metal nitrate solution prepared using La(NO3) 3·6H2O,Ca(NO3) 2·4H2O,Sr(NO3) 2,Mn(CH3COO) 2·4H2O and an ethanol precursor was used to fill the interstitial voids of the polystyrene colloidal crystal templates.3DOM La0.8Sr0.2MnO3 and La0.7Ca0.2Sr0.1MnO3 materials were then obtained after the sphere templates were removed via drying and calcination.The results show that the framework of the 3DOM materials can have different thicknesses and pore shrinkage rates by varying the filling times.In addition,the Curie temperatures of the 3DOM and bulk La0.8Sr0.2MnO3 materials can be varied by altering the preparation method.     

AIFF MVA模式下像素尺寸对其特性的影响

近年来,液晶电视的需求呈现强劲的增长势头.多畴垂直取向（MVA）模式的液晶显示器（LCD）与其他显示模式的LCD相比,具有高对比度、宽视角及快速响应等特点,但需要制作昂贵且复杂的凸起结构以保证液晶分子的取向,因此如何避免制作凸起结构成为许多研究者的课题.为解决上述问题,采用新颖的增强边缘电场效应（AIFF）MVA技术,...